ALNセラミックス

イオン注入装置の窒化アルミニウム (ALN) トップノズル

エッチングノズル 半導体製造でウェーハの表面から不要な物質を除去するために使用されるコンポーネントです。 窒化アルミニウムセラミックエッチングノズル 耐摩耗性、耐食性、高精度に優れ、高温、高圧、高腐食環境下でも長時間安定して動作し、エッチング結果やノズル寿命の向上を実現します。

他のメーカーの機械加工方法とは異なり、当社は射出成形プロセスによって窒化アルミニウムエッチングノズルを製造しており、次の利点があります。

1.複雑な形状も作れる
2.高い生産量
3.優れたパフォーマンス
4.低コスト

品目番号 :
Aluminum nitride top nozzle in Ion implanter
サイズ :
φ62.75*28.7mm
注文(MOQ) :
10pcs
リードタイム :
30~40 days

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製品紹介

半導体用途における窒化アルミニウムエッチングノズル

半導体用途の窒化アルミニウムエッチングノズルは、主にその高い耐摩耗性、高耐食性、高精度の特性に反映されており、これらの特性により、高温、高圧、高腐食環境下で長時間作業することが可能になり、エッチングの品質が向上します。効果とノズルの寿命。

窒化アルミニウムエッチングノズルは、高精度の要求が要求される材料除去の半導体製造プロセスを満たすために設計および製造されています。半導体装置のエッチングプロセスでは、エッチングノズルはウェーハ表面から不要な材料を除去して正確なパターニングを実現する役割を果たします。半導体製造プロセスでは高い材料純度と精度が要求されるため、エッチングノズルの材料の選択は重要です。窒化アルミニウムは、その優れた物理的および化学的特性により、エッチングノズルの製造に理想的な材料の 1 つです。

窒化アルミニウムエッチングノズルの利点は次のとおりです。

高い耐摩耗性: 高速粒子の衝撃や摩擦に耐えることができ、時間が経っても鋭いエッジを維持して正確なエッチングを保証します。

高い耐食性：強酸や強アルカリなどの過酷な環境下でも安定して動作し、腐食を防止し、機器の長期安定稼働を実現します。

高精度：窒化アルミニウムの高精度特性により、エッチングノズルによる材料の除去量を正確に制御できるため、半導体製品の品質と性能が向上します。

さらに、窒化アルミニウムエッチングノズルは高い熱安定性と良好な電気絶縁性も備えており、高温高圧環境下でも安定した物理的および化学的特性を維持でき、半導体製造プロセスの安定性と信頼性を確保します。このような特性を備えた窒化アルミニウムエッチングノズルは、半導体製造において欠かせないキーコンポーネントとなっており、生産効率や製品品質の向上に大きな意味を持っています。

top nozzle in ion implanter

データシート

プロパティ	状態	単位	AN-170I
密度	--	グラム/センチメートル3	3.32
熱伝導率	25℃	W/m・K	170
曲げ強度	3点法、25℃	MPa	410
絶縁	25℃	KV/mm	31
体積抵抗率	25℃	Ω·cm	4.96×10¹⁴
誘電率	1MHz	— —	8.8
誘電損失	1MHz	— —	6.6×10^-4
CTE	25～400℃	×10-6/K	4.6

私たちの利点

Xiamen Juci Companyの工場面積は30,000平方メートルで、生産工場には30セットの単一焼結炉と8セットの先進的連続焼結炉が備えられており、最大1,000トン/年のアルミニウム生産能力があります。窒化物粉末。試験センターの面積は約800平方メートルで、走査型電子顕微鏡、粒度計、窒素酸素分析装置、粉体総合試験機、熱伝導率計などの専門的な粉体・セラミックス試験機を100台以上備えています。同社は1200平方メートルの面積を持つ研究開発センターを持ち、40セット以上の研究開発専用機器を備え、30人以上の研究開発チームが常に製品の最適化と革新を推進しており、会社の競争力を維持することができます。熾烈な市場競争で有利になります。

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